強いと思われた日本の「半導体製造装置」産業も凋落の危機に瀕していた

半導体の前工程投資額が1000憶ドル超に

　半導体業界団体のSEMIは2022年6月13日、半導体の前工程用装置の投資額が、前年2021年の910億ドルから約20％増え、今年2022年に1090億ドルになるという予測を発表した（図1）。

　SEMIのプレジデント兼CEOのAjit Manocha（アジット・マノチャ）は、「半導体製造装置の世界市場は、SEMI World Fab Forecast Reportに示されるように、はじめて1000億ドルを突破する軌道を進んでいます。この歴史的なマイルストーンの通過は、現在の前例のない成長に感嘆符をつけることになります」とコメントしている。

　確かに図1を見ると、前工程用装置市場は、2019年から2022年への3年間で約2倍に成長していることが分かる。これは凄まじい成長率であるし、前工程用装置だけで1000憶ドル超となったことにも驚かされる。

　ここで、前工程には約10種類の装置があるが、各種の前工程用装置の出荷額はどのような推移を遂げているのだろうか。また、各種の前工程用装置における企業別シェアや日本のシェアはどうなっているのだろうか。

　そこで、本稿では、まず各種の前工程用装置の出荷額の推移を明らかにする。次に、2021年における各種の前工程用装置の出荷額と企業別シェアを分析する。その際、日本のシェアが高い装置および低い装置を特定する。さらにここから、日本の半導体製造装置産業の問題点を指摘する。

　結論を先に述べると、その問題点は、前工程の市場規模の大きい装置では日本のシェアは低いこと、および日本全体の前工程装置のシェアが低下していることにある。もしかしたら、日本の半導体製造装置産業は衰退の道を歩んでいるのかもしれない。

各種の前工程用装置の出荷額の推移

　図2に、各種の前工程用装置の出荷額の推移を示す。ここで、検査装置については、外観検査装置、パタン検査装置、マスク検査装置の出荷額を合計した。また、洗浄装置は、枚葉式洗浄装置とバッチ式洗浄装置の出荷額を合計した。

　改めて図2を見てみると、多くの前工程用装置は2000年のITバブルの時にピークがあり、2008年のリーマン・ショック後に落ち込んでおり、2018年のメモリバブルでピークアウトして2019年に低下している。

　ただし、露光装置だけは2019年の落ち込みがない。露光装置市場を独占しているオランダのASMLが、1台180億円もする最先端露光装置EUVの量産機を2018年頃から出荷していることが、2019年の落ち込みがない原因であると考えている。

　次に、市場規模に着目すると、概ね露光装置の出荷額が最も大きい時代が続いたが、2015年にドライエッチング装置が最大規模となった。その後、2019年にいったん露光装置に抜かれたが、2020年以降は再びドライエッチング装置が最大となった。

　2021年は市場規模が大きい順に、ドライエッチング装置が189憶ドル、露光装置が164憶ドル、検査装置が139憶ドル、CVD装置が100億ドルとなり、4種類の前工程用装置が100億ドルを超える出荷額を記録した。