1日の遅れが数千億円の損失に…半導体装置の「性能競争」は終わりへ、東京エレクトロンの選択

●この記事のポイント 東京エレクトロンが半導体製造装置の「立ち上げ期間半減」を発表。河合利樹社長がロボット活用やAI（プロセスインフォマティクス）導入を表明。ASML・AMAT・ラムリサーチとの性能競争が限界に近づく中、TSMC熊本工場（投資額2.7兆円規模）のような巨大工場で「導入スピード」が新...